Автор работы: Пользователь скрыл имя, 06 Апреля 2012 в 10:47, курсовая работа
Методи дослідження – чисельні розрахунки за відомими, отриманими і спрощеними математичними формулами, що описують особливості дифузії, структури і роботи діода; використання теоретичних відомостей, що стосуються корпусів діодів; використання можливостей ЕОМ для визначення необхідних параметрів і залежностей.
Курсовий проект направлений на закріплення теоретичних знань з технологічних основ електроніки і практичне засвоєння методик розрахунку електрофізичних параметрів і характеристик напівпровідникових приладів.
1. Види діодів……………………………………………………………..........9
1.1. Напівпровідникові діоди…………………………………………………9
1.2. Електровакуумні діоди…………………………………………………12
1.3. Спеціальні види діодів…………………………………………………14
1.3.1. Стабілітрон……………………………………………………………16
1.3.2. Тунельний діод……………………………….………………………17
1.3.3. Фотодіод……………………………………………………………….18
2. Розрахунок процесу дифузії……………………………………………..19
2.1. Завдання та вихідні дані………………………………..........................19
2.2. Визначення коефіцієнта дифузії………………………………………19
2.3. Визначення глибини залягання p-n-переходу…………………………20
2.4. Визначення градієнта концентрацій………………………………….22
2.5. Розрахунок ВАХ…………………………………………………….…..22
2.6. Розрахунок топології…………………………………………………...28
3. Технологічний процес……………………………………………………31
3.1. Схема технологічного процесу…………………………………………31
Висновки……………………………………………………………………..38Список літератури…………………………………………………………...39
1.2 Електровакуумні діоди
Електровакуумний діод - електронна лампа з двома електродами (катод і анод). Різновид діода. Використовується в детекторах (амплітудних або частотних) і в випрямлячах. Високовольтна різновид - кенотрон.
Електровакуумний діод являє собою скляний або металевий балон, з якого відкачано повітря і всередині якого знаходяться катод і анод. Від цих електродів крізь стінки балона проходять виводи. Якщо балон скляний, то виводи впаяні у скло. Якщо ж балон металевий, то виводи виходять через скляні або керамічні намистини, впаяні в металл [3].
Принцип дії: при розігріві катода електрони почнуть покидати поверхню останнього за рахунок термоелектронної емісії. Покинули поверхню електрони будуть перешкоджати вильоту інших електронів, у результаті навколо катода утворюється свого роду хмара електронів. Частина електронів з найменшими швидкостями із хмари падає назад на катод. При заданій температурі катода хмара стабілізується: на катод падає стільки ж електронів, скільки з нього вилітає. При подачі на катод негативного електричного потенціалу, а на анод - позитивного виникає електричне поле, яке змушує електрони рухатися від катода до аноду. Тим самим у ланцюзі з'являється ток. Якщо ж на катод поданий «+», а на анод «-» (зворотне включення), електричне поле перешкоджає руху електронів, які залишають катод і струм не тече [4].
Розглянемо ВАХ діода, яка зображена на рисунку 1.4.
Рисунок 1.4 – ВАХ електровакуумного діода.
Вольт-амперна характеристика електровакуумного діода має 3 ділянки:
ВАХ анода залежить від напруги напруження - чим більше напруження, тим більше крутість ВАХ і тим більше струм насичення. Однак збільшення напруги напруження призводить до зменшення терміну служби лампи.
1.3 Спеціальні види діодів
Сьогодні існує дуже багато різновидів діодів:
Розглянемо деякі з них.
1.3.1 Стабілітрон
Стабілітрон (діод Зенера) - напівпровідниковий діод, призначений для підтримки напруги джерела живлення на заданому рівні. У порівнянні зі звичайними діодами має достатньо низьке регламентоване напруга пробою (при зворотному включенні) і може підтримувати цю напругу на постійному рівні при значній зміні сили зворотного струму. Матеріали, використовувані для створення pn переходу стабілітронів, мають високу концентрацію легуючих елементів (домішок). Тому, при відносно невеликих зворотних напругах в переході виникає сильне електричне поле, що викликає його електричний пробій, в даному випадку є оборотним (якщо не настає тепловий пробій внаслідок занадто великої сили струму).
На рисунку 1.5 зображена
принципіальна схема
Рисунок 1.5 – Зображення стабілітрона на принципіальній схеми.
В основі роботи стабілітрона лежать два механізми:
Види стабілітронів:
1.3.2 Тунельний діод
Звичайні діоди при збільшенні прямої напруги монотонно збільшують пропускання струму. У тунельному діоді квантово-механічне тунелювання електронів додає горб в вольт-амперную характеристику, при цьому, через високий ступень легування p і n областей, напруга пробою зменшується практично до нуля. При подальшому збільшенні прямої напруги рівень Фермі n-області піднімається відносно р-області, потрапляючи на заборонену зону р-області, а оскільки тунелювання не може змінити повну енергію електрона, можливість переходу електрона з n-області в p- область різко падає. Тунельний ефект дозволяє електронам подолати енергетичний бар'єр в зоні переходу з шириною 50 . . 150 А при таких напругах, коли зона провідності в n-області має рівні енергетичні рівні з валентної зоною р-області.
ВАХ тунельний діода має вигляд, представлений на рисунку 1.6.
Рисунок 1.6 – ВАХ тунельного діода.
1.3.3 Фотодіод
Фотодіод - приймач оптичного випромінювання, який перетворює потрапившу на його фото чутливу область світло в електричний заряд за рахунок процесів в p-n переході.
Фотодіод, робота якого
заснована на фотовольтаїчному
ефекті (поділ електронів і дірок
у p-і n-області, за рахунок
чого утворюється заряд і ЕРС),
називається сонячним
2 РОЗРАХУНОК ПРОЦЕСУ ДИФУЗІЇ
2.1 Завдання та вихідні дані [10]
Завдання до курсового проекту даються у двох напрямах:
Вихідні дані до виконання курсового проекту представлені в таблиці 2.1 за варіантом №2.
Таблиця 2.1 – Вихідні дані
Елемент |
Джерело дифузанта |
Спосіб дифузії |
Параметри і особливості дифузії |
As |
Германій легований до великих концентрацій (r=0,001 Ом×см) |
У евакуйованій ампулі або у відкритій трубі, в контейнері |
Для Ge можна досягнути С0=1018 см-3 |
2.2 Визначення коефіцієнту дифузії
Для розрахунку коефіцієнту дифузії використана наступна формула:
Та спочатку визначимо температуру, при якій дифузія буде проходити з нормальною швидкістю. Вона становить Т=973 К.
D0 = 7 см2/с
Ea = 2,42 еВ
За такої температури коефіцієнт дифузії дорівнює D = 2,1 10-12 см2/с
Поверхнева концентрація дифузанту за умовою складає 1018 см-3.
Для визначення розподілу домішки і глибини залягання р-п перехода застосуємо графічний метод. Знаючи і, що дифузія йде з джерела, що не випробовувало виснаження, розподіл описується функцією доповнення до інтегралу похибок:
Де x – глибина проходження дифузії, D – коефіцієнт дифузії, визначений у попередньому розділі.
Концентрація вихідної домішки вибирається на 3-4 порядки менше ніж С0, тобто Св = 1015 см-3.
Занесемо отримані значення залежності в таблицю 2.2.
Таблиця 2.2 – Залежність концентрації домішки.
Х, 10-4 см |
С0, см-3 |
0 |
1E+18 |
1 |
6,81E+17 |
2 |
4,06E+17 |
3 |
2,38E+17 |
4 |
1,21E+17 |
5 |
4,57E+16 |
6 |
1,52E+16 |
7 |
4,68E+15 |
8 |
1,34E+15 |
9 |
3,25E+14 |
10 |
5,2E+13 |
11 |
8,54E+12 |
12 |
1,13E+12 |
За даними таблиці 2.2 побудуємо графік, наведений на рисунку 2.1.
Рисунок 2.1 – Графік розподілу концентрації домішкових атомів у напівпровіднику від глибини залягання шару.
Точка перетину розподілу (2.1) та графіку С(x)=Cb і буде значенням глибини залягання. Отже,
Xi = 8,4 10-4 см
Також можна розрахувати глибину залягання p-n перехода за наближеною формулою:
За даною формулою маємо, що Xi = 9,14 10-4 см.
2.4 Визначення градієнта концентрацій
Градієнт концентрації характеризує „плавність” р-п переходу. Для erfc-розподілу він визначається диференціюванням функції розподілу по кординаті.
Підставивши значення глибини залягання p-n-переходу маємо таке значення градієнта концентрації:
а = 9,5 1018 см-4
Отже, маємо p-n-перехід, близький до плавного.
2.5 Розрахунок ВАХ
Для отримання залежності струму переходу від прикладеної до нього напруги отримаємоза наступними припущеннями: