Методы анализа определения примесей в кремнии

11. Ковалев И.Д., Потапов А.М., Бодягин Д.А. Лазерный масс-спектрометрический анализ твердых высокочистых веществ // XIII конференция «Высокочистые вещества и материалы. Получение, анализ, применение». Тез. докл. Нижний Новгород, 2007. С. 122-123.

12. Суриков В.Т. Кислотное растворение кремния и его соединений для анализа методом масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой // Аналитика и контроль. 2008. Т. 12, № 3-4. С. 93-100.

13. Сапрыкин А.И., Шелпакова И.Р., Чанышева Т.А., Заксас Н.П. Некоторые аспекты подготовки проб к атомно-эмиссионному спектральному и масс-спектрометрическому определению микроэлементов // Ж. аналит. химии. 2003. Т. 58, № 3. С. 273-279.

14. Главин Г.Г., Овчинников С.В. Аналитические возможности масс-спектрометрии с тлеющим разрядом применительно к определению примесного состава полупроводникового кремния // Аналитическая химия – новые методы и возможности. Съезд аналитиков России и школа молодых ученых: Тез. докл. Москва, 2010. С. 80.

15. Ганеев А.А., Губаль А.Р., Потапов С.В., Тюкальцев Р.В. Анализ кремния с помощью времяпролетного масс-спектрометра с импульсным тлеющим разрядом Люмас-30 // Масс-спектрометрия. 2009. Т .6, № 4. С. 289–294.

16. Максимов Г.А., Пименов В.Г., Тимонин Д.А. Химико-атомно-абсорбционный анализ высокочистого кремния с пределом обнаружения примесей на уровне 10-9-10-11 % // Высокочистые вещества. 1993. № 3. С. 127-134.

17. Максимов Г.А., Пименов В.Г., Тимонин Д.А. Анализ высокочистого германия атомно-абсорбционным методом с использованием для концентрирования примесей парогазового автоклавного вскрытия пробы дифторидом ксенона // Высокочистые вещества. 1988. № 1. С. 149-145.

18. Василевская Л.С., Кондрашина А.И., Шифрина Г.Г. Химико-спектральный метод определения бора в кремнии и его соединениях // Заводская лаборатория. 1962. Т. 28, № 6. С. 674-676.

19. Шафран И.Г. Химические методы определения малых количеств примесей в ряде веществ высокой чистоты // Труды ИРЕА. 1959. Вып. 23. С. 88-95.

20. Спектральный анализ кремния высокой чистоты / Х.И. Зильберштейн и [др.] // Заводская лаборатория. 1959. Т. 25, № 12. С. 1474-1476.

21. Химико-спектральные методы определения примесей в высокочистом диоксиде кремния и кварцевом стекле / Х.И. Зильберштейн и [др.] //Высокочистые вещества. 1989. № 1. С. 150-165.

22. Пименов В.Г., Гайворонский П.Е., Шишов В.Н. // Снижение уровня фоновых загрязнений в химико-спектральном анализе высокочистого кварцевого стекла путем автоклавного разложения пробы непосредственно в электроде // Ж. аналит. химии. 1984. Т. 39, № 6. С. 1072-1075.

23. Зильберштейн Х.И., Легеза С.С., Мачкова Г.Ф.Химико-спектральный метод анализа диоксида кремния особой чистоты с концентрированием примесей непосредственно на торце графитового электрода // III Всесоюзная конференция по новым методам спектрального анализа: Тез докл. М: АН СССР, 1987. С. 65.

24. Методы анализа веществ высокой чистоты. М.: Наука, 1965. 528 с.

25. ГОСТ 26239.0-84 – ГОСТ 26239.0-84. Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы анализа. М.: Издательство стандартов. 1985. 127 с.

26. Спектральный анализ чистых веществ / [Под ред. Х.И. Зильберштейна]. Л.: Химия, 1971. 415 с.

27. Пименов В.Г. Концентрирование примесей отгонкой матрицы в анализе высокочистых веществ атомно-эмиссионным и атомно-абсорбционным методами // Ж. аналит. химии. 2003. Т. 58, № 7. С. 736-737.

28. Шелпакова, И.Р., Сапрыкин А.И. Анализ высокочистых веществ методами атомно-эмиссионного спектрального и масс-спектрального

анализа с возбуждением и ионизацией атомов в индуктивно связанной плазме // Успехи химии. 2005. Т. 74, № 11. С. 1107-1117.

29. И.Хавезов, Д.Цалев Атомно-абсорбционный анализ. Перевод с болгарского Г.А.Шейниной. Под редакцией С.З.Яковлевой. Ленинград "Химия". Ленинградское отделение, 1983г.