Расчет параметров кремниевого интегрального МДП-транзистора

Автор работы: Пользователь скрыл имя, 16 Декабря 2014 в 09:55, курсовая работа

Краткое описание

Транзистор (от англ. transfer — переносить и resistor — сопротивление) – электронный прибор на основе полупроводникового кристалла, имеющий три (или более) вывода, предназначенный для генерирования и преобразования электрических колебаний. Изобретён в 1948 У. Шокли, У.Браттейном и Дж. Бардином (Нобелевская премия, 1956). На основе транзисторов и их применений выросла широкая отрасль промышленности – полупроводниковая электроника. Транзисторы выпускаются в виде дискретных компонентов в индивидуальных корпусах или в виде активных элементов – интегральных схем.

Содержание

Введение………………………………………………………………………………….…………3
§ 1. Теоретические сведения………………………………………………………..…………..3
§2. Расчет электрических характеристик кремниевого интегрального n-канального МДП-транзистора
§ 2.1. Исходные данные. Задание ……………………………………………………………..8
§2.2.1. Расчет и корректировка порогового напряжения транзистора………..…..10
§2.2.2. Расчет ВАХ в рамках идеализированной модели………………………………...11
§2.2.3. Расчет ВАХ с учетом неоднородности ОПЗ под затвором…………………..12
§2.3. Малосигнальная эквивалентная схема и ее параметры………………………….15
§2.4.1. Факультативное задание: расчет и корректировка порогового напряжения с учетом эффектов короткого и узкого канала…………………………………………..16
§2.4.2. Факультативное задание: расчет реальной ВАХ, зависящей от V_BS.………17
§2.4.3. Факультативное задание: расчет параметров эквивалентной схемы……..19
§3.1. Структура и топология МДП-транзистора……………………………………….20
§3.2. Краткий технологический маршрут изготовления МДП-структур………….21
Выводы главы…………………………………………………………………………………….23

Прикрепленные файлы: 1 файл

Григорьев П.А. ЭКТ-45.docx

— 315.12 Кб (Скачать документ)

в) формируют тонкий подзатворный слой диоксида кремния и наносят на него слой поликремния (затвор);

г) ионным легированием мышьяка формируют n+-области истока и стока;

д) химическим паровым осаждением наносят слой диоксида кремния, формируют в нем окна, напыляют пленку алюминия и методом фотолитографии создают рисунок металлических проводников.

 

 

 

Выводы главы

В данной главе произведен расчет параметров МДП-транзистора. Сводка результатов представлена в таблице 1.3.

Параметр

Результат

1

Структура исследуемого МДП-транзистора

Рис. 1.8а

2

Топологический чертеж исследуемого МДП-транзистора

Рис. 1.8б

3

Рассчитанное пороговое напряжение Vt0, B

 

4

Доза подлегирования D, см-2

 

5

Коэффициент влияния подложки КB,B1/2

 

6

Толщина ОПЗ под  затвором lT, мкм

0.16

7

Толщина ОПЗ под  истоком lS, мкм

0.44

8

Толщина ОПЗ под  стоком lD, мкм

1.03

9

Крутизна ВАХ g, мкА/В

1097

10

Выходная проводимость G, мкОм-1

678

11

Собственный коэффициент усиления по напряжению К

 

12

Маршрутная карта изготовления транзистора

§1.2.1


Табл. 1.3 – сводка конечных результатов

Список литературы

  1. Старосельский В.И. Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники: учеб. пособие – М.: Высшее образование; Юрайт-Издат, 2009
  2. Титова И.Н. Методические указания по выполнению курсового проекта. Учебно-методическая разработка для самостоятельной работы студентов по курсу «Элементы твердотельной электроники и физики полупроводниковых приборов»
  3. Москатов Е. А. Электронная техника. Начало. Ростов н/Д: Феникс, 2010

~ ~

 


Информация о работе Расчет параметров кремниевого интегрального МДП-транзистора