Напыление металлов

Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.

Нагрев подложки, охлаждение и дополнительное смещение на подложку

Планетарное вращение.

Ниже приведены иллюстрации установки.

 

 

 

 

 

Amod

 

Установки вакуумного напыления AMOD компании Angstrom Engineering Inc. для исследований в области напыления тонких пленок. Могут оснащаться перчаточным боксом.

Системы линейки Åmod удовлетворяют самым продвинутым требованиям заказчика к процессам напыления и исследования тонких пленок. Åmod могут быть составной частью кластерной системы. Программное обеспечение производства Angstrom Engineering объединяет множество различных компонентов системы, выдавая самую важную информацию по щелчку мыши.

 

 

 

Процессы:

резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation),

магнетронное напыление (sputter deposition),

электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation),

ионное напыление (ion-assisted deposition).

Обзор:

Продвинутая система управления на базе ПК.

Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция).

Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция).

Наполнение различными источниками PVD процессов согласно требованиям заказчика.

Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере

площадь занимаемая системой 1600х1000 мм.

Камера с выдвижной дверью на петлях 475x475x500 мм (возможна D-образная камера).

Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.

Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления.

Диаметр обрабатываемых подложек до 300мм. (пластины большего диаметра по запросу).

Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция).

Обучение работе на системе на заводе.

1 год гарантии.

Контроль вакуума:

Автоматический форвакуумный насос.

Сухие насосы (опция).

Высокий вакуум обеспечивается турбомолекулярным насосом.

Крио насосы (опция).

Пневматически воздушный фильтр.

Управление процессом осаждения:

Теневая маска и выравнивание подложки.

Легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса.

Датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом.

Конфигурация для реализации процесса соосаждения — co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава).

QCM — изолированный датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников.

Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения, от перекрестного напыления.

Нагрев подложки, охлаждение и доп. смещение на подложку.

Планетарное вращение, напыление под углом.

Ниже приведены иллюстрации установки.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Заключение

 

Все вакуумные напылительные системы обладают высочайшей надёжностью, т.к. на 70-90% комплектуются надежными и проверенными комплектующими всемирно известных европейских и американский компаний. Так, подавляющее большинство устанавливаемых блоков питания собирается в Германии. Устанавливаемые узлы собственного производства проходят длительное и тщательное тестирование с применением современных средств, прежде чем они будут установлены в вакуумную напылительную систему, предлагаемую заказчику. При этом, несмотря на то, что при их сборке используются лучшие комплектующие (которые, как правило, имеют стоимость на 10-20%  выше, чем аналогичное вакуумное оборудование конкурентов, собирающих вакуумные напылительные системы из импортных комплектующих), вакуумные напылительные системы имеют привлекательную цену, примерно на 15-20%  ниже по сравнению с ценой конкурентов, что достигается за счёт более выверенной и современной организации производства. 

 

Список использованных источников

 

1 [Электронный ресурс]. URL:  http://www.rusnanonet.ru/equipment/  (дата обращения 04.12.2013).

2 [Электронный ресурс]. URL:  http://www.robvac.com/vacsputdepos.html (дата обращения 04.12.2013).