Напыление металлов

Вакуумное напыление используют в планарной технологии полупроводниковых микросхем, в производстве тонкопленочных гибридных схем, изделий пьезотехники, акустоэлектроники и др. (нанесение проводящих, диэлектрических, защитных слоев, масок и др.), в оптике (нанесение просветляющих, отражающих и др. покрытий), при металлизации поверхности пластмассовых и стеклянных изделий, тонировании стекол автомобилей. Вакуумное напыление подразделяется на два вида обработки: Ионно-лучевая обработка материалов (ИЛО) осуществляется пучком ускоренных заряженных частиц, сформированных в автономных источниках ионов. Ускоренные ионы попадают в технологическую камеру и взаимодействуют с поверхностью обрабатываемого объекта, вызывая либо распыление материала, либо осаждение материала.

Введение 3
Covap II 4
Atis 6
EvoVac 7
NexDep 9
Amod 11
Заключение 14
Список использованных источников 15