Синтез гетероэпитаксиальных пленок карбида кремния

Автор работы: Пользователь скрыл имя, 28 Января 2014 в 20:07, статья

Краткое описание

В настоящее время наиболее перспективными методами нанесения покрытий являются вакуумно-плазменные методы. Это обусловлено их экологической безопасностью, высокой чистотой технологических процессов и качеством продукции.