Автор работы: Пользователь скрыл имя, 24 Апреля 2014 в 21:01, реферат
За последние несколько лет широкое распространение по всему миру получили датчики, основанные на микроэлектромеханических системах, так называемых МЭМС. Популярность данных устройств обусловлена рядом причин, основными из которых являются простота их использования, относительно низкая цена и малые габариты. МЭМС-датчики, как правило, оснащаются интегрированной электроникой обработки сигнала и не имеют движущихся частей.
Введение
Одноосевой МЭМС-датчик угловой скорости (гироскоп) с вибрирующим кремниевым кольцом
Кремниевый кольцевой МЭМС-сенсор
Принцип действия системы гироскопа
Технические характеристики гироскопа
Емкостной трехосевой МЭМС-акселерометр с цифровым выходом
Принцип действия емкостного акселерометра
Заключение