Автор работы: Пользователь скрыл имя, 04 Мая 2013 в 12:14, курсовая работа
Температура дифузії визначається з двох параметрів, по перше, вона повинна бути хоча б на 1000С менша за температуру плавлення речовини, в яку відбувається дифузія (для кремнію Тпл=14150С), для збереження кристалічної структури підкладки, по друге, вона повинна бути такою, щоб забезпечити коефіцієнт дифузії см2/с.