Расчет и проектирование тонкопленочных ГИС

Конструктивный расчет тонкопленочных резисторов заключается в определении формы, геометрических размеров и минимальной площади, занимаемой резисторами на подложке. При этом необходимо, чтобы резисторы обеспечивали рассеивание заданной мощности при удовлетворении требуемой точности в условиях существующих технологических возможностей.

Техническое задание.……………………………………………………. 3
1 Расчётная часть………………………………………………..……...... 5
1.1 Конструктивный расчёт тонкоплёночных резисторов ….....……… 5
1.1.1 Расчёт резисторов, имеющих ………………….……..….... 7
1.1.2 Расчёт резисторов, имеющих ............................................... 8
1.1.3 Расчёт резисторов, имеющих ............................................. 11
1.2 Расчёт тонкоплёночных конденсаторов…….................................... 14
1.3 Обоснование выбора материала подложки........................................ 21
1.4 Проектирование микроплаты ГИС..................................................... 22
1.5 Разработка технологического цикла ГИС……………………........ 23
1.6 Схема технологического процесса...................................................... 24
2 Индивидуальное задание......................................................................... 25
2.1 Фотолитография резистивного слоя……………………………….. 25
2.2 Методы разделения подложек………………………………………. 28
Заключение………………………………………………………….......... 32
Список используемых источников…………………………………....... 33