Разработка топологии и технологии изготовления бескорпусной тонкопленочной микросборки

Федеральное агентство Российской Федерации

Государственное образовательное учреждение

высшего профессионального образования

Северо-Западный государственный заочный

Технический университет

КУРСОВАЯ РАБОТА

разработка топологии и технологии изготовления бескорпусной  тонкопленочной микросборки.

Представительство СЗТУ

г. Кандалакша

2007 г.

СОДЕРЖАНИЕ

1. Задание на курсовую работу

2. Схемотехнические данные и используемые материалы

2.1 Схема микросборки, электрические и эксплуатационные данные

2.2 Материалы, используемые для разработки микросборки

2.3  Технологические требования и ограничения

3. Разработка коммутационной схемы соединений

4. Расчет тонкопленочных элементов микросборки

4.1. Расчет тонкопленочных резисторов

4.3 Расчет пленочных конденсаторов

4.4  Расчет пленочных проводников и контактных площадок ИМС

5. Разработка топологии ИМС

6. Разработка технологии изготовления микросборки

7. Заключение

8. Список литературы

9. Приложение

1. Задание на курсовую работу

Разработать на основе тонкопленочной технологии топологию и технологию изготовления бескорпусной интегральной микросборки, представляющей собой два параллельно включенных Т-образных четырехполюсника. Выбор варианта курсовой работы произвести из приведенных ниже исходных данных.

2. Схемотехнические данные и используемые материалы

Микросборка (МСБ) - микроэлектронное изделие, выполняющее определенную функцию и разрабатываемое  для конкретной радиоаппаратуры с целью обеспечения комплексной микроминиатюризации последней. МСБ используются в радиоаппаратуре различного функционального назначения в качестве субблоков, блоков и отдельных устройств. В качестве основания в МСБ применяются в основном керамические или ситалловые подложки,  на которых формируется пленочная конфигурация микросборки и устанавливаются различные компоненты (диоды, транзисторы, микросхемы и т.д.). По технологии  изготовления МСБ не отличаются от пленочных и гибридных микросхем.

Исходными данными для разработки топологии МСБ являются:

-  схемотехнические данные: электрическая схема и электрические данные;

-  эксплуатационные данные и требования;

-  технологические требования и ограничения;

-  конструктивные данные и требования.

2.1 Схема микросборки, электрические и эксплуатационные данные

Электрическая схема МСБ изображена на рис. 1 и представляет собой два параллельно включенных Т-образных четырехполюсника. Первый состоит из двух резисторов R1 и конденсатора C2, а второй – из двух конденсаторов C1, представляющих собой плечи четырехполюсника, и резистора  R2.

рис. 1

Исходные электрические и эксплуатационные данные и материалы приведены в табл. 1.1…1.5

табл. 1.1

2.2 Материалы, используемые для разработки микросборки

табл. 1.2

табл. 1.3

Материал для контактных площадок и проводников необходимо выбрать такой, чтобы:

1.                   Обладал высокой адгезией с подложкой.

2.                   Обеспечивал необходимую проводимость электрического тока.

3.                   Должен быть: химически инертным, стабильным.

Всеми перечисленными выше свойствами обладает алюминий с подслоем нихрома. Подслой нихрома обеспечивает особо прочное соединение с подложкой и последующими слоями, слой алюминия обеспечивает высокую проводимость, химическую инертность и стабильность.

табл. 1.4