Електронна літографія

Мікроелектроніка є однією з галузей науки і техніки, що розвиваються найбільш швидко. Це пов’язано з все більш зростаючим попитом на електронні прилади та пристрої.
Процес виготовлення мікроелектронних виробів - інтегральних мікросхем постійно вдосконалюється. Мікрохемотехніка є схемотехнічним розділом мікроелектроніки, що вивчає дослідження і розробку схемотехнічних рішень, які використовуються в інтегральних мікросхемах (ІМС). Дана робота присвячена огляду процесу електронної літографії.
Електронна літографія – це метод літографії з використанням електронного пучка. Вона використовується для створення масок для фотолітографії, виробництва штучних компонентів, де потрібна нанометрова роздільна здатність, у промисловості та дослідницькій роботі.

Вступ………………………………………………………………………..4
Фізичні основи електронної літографії…………………………………5
Загальні поняття. Види електронної літографії…………………..……5
2.1. Проекційна електронна літографія………………………………....6
2.2. Скануюча електронна літографія…………………………………..9
2.3. Нова електронна літографія………………………………………..13
3. Проблема суміщення…………………………………………………….16
4. Аналітичні моделі………………………………………………………...17
4.1. Модель Каная………………………………………………………...17
4.2. Модель прямого розсіювання………………………………………19
Висновки……………………………………………………………………21
Список літератури…………………………………………………………22