Метод магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием

Цель работы:
Провести теоретические и экспериментальные исследования работы магнетронной распылительной системы с ионным ассистированием. Для достижения данной цели в работе поставлены следующие задачи:
1. Изучить теоретические основы магнетронного распыления и ионного ассистирования.
2. Ознакомиться с устройством и принципами работы установки для нанесения покрытий магнетронным методом с ионным ассистированием.

Введение. 3
1. Физические основы метода. 5
1.1. Метод магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием. 5
1.2.Ионная очистка. 9
2. Расчет распределения толщины покрытия по поверхности образцов. 12
3. Методика эксперимента. 17
3.1. Описание установки. 17
3.2. Технологический цикл нанесения покрытий. 20
3.3. Результаты и их обсуждение. 22
Заключение. 26
Список используемой литературы. 27